PlasmaClean(電漿清洗BeforeWB)在密閉真空中充入少量Ar、H2、O2中的一種或幾種氣體,利用RFpower在平形板電極形成電場使電子來回震蕩,電子激發(fā)并電離氣體產(chǎn)生電漿,撞擊基板和芯片表面,與污染物產(chǎn)生物理或化學(xué)反應(yīng),利用氣體流通將污染物去除。電漿清洗使表面微結(jié)構(gòu)產(chǎn)生官能基或達到一定的粗糙度,增加不同材料之間的結(jié)合力,增加焊點的可靠性以及基板與塑封材料之間的結(jié)合力,從而提高產(chǎn)品的







